(1) Perawatan pra-PVD, kalebu reresik barang lan pra-perawatan.Cara reresik khusus kalebu reresik deterjen, reresik pelarut kimia, reresik ultrasonik, lan reresik bombardment ion.
(2) Sijine menyang pawon, kalebu reresik kamar vakum lan perlengkapan, lan instalasi, commissioning lan sambungan saka item lan peralatan.
(3) Vacuuming, umume pumping kanggo 6.6Pa utawa luwih, mbukak ngarep pump difusi sadurungé kanggo njaga pump vakum lan panas pump difusi.Sawise preheating cukup, mbukak tutup dhuwur lan pompa menyang vakum setengah ngisor 6 x 10-3 Pa karo pump difusi.
(4) Baking, baking item menyang suhu sing dikarepake.
(5) Ion bombardment, vakum umume 10 Pa kanggo 10-1 Pa, voltase bombardment ion punika voltase dhuwur negatif saka 200 V kanggo 1 KV, lan wektu serangan 15 min kanggo 30 min.
(6) Pre-melting, nyetel saiki kanggo wis nyawiji materi, nyetel saiki kanggo wis nyawiji plating lan degassing kanggo 1min ~ 2min.Evaporating deposition.Arus penguapan disetel kaya sing dibutuhake nganti wektu deposisi sing dikarepake wis rampung.Cooling, item sing digawe adhem kanggo suhu tartamtu ing kamar vakum.
(7) Sawise item dijupuk metu, kamar vakum ditutup, vakum wis evakuasi kanggo l × l0-1Pa, lan pump difusi digawe adhem kanggo suhu allowable sadurunge pump pangopènan lan banyu cooling bisa dipateni.